真空濾油機包括初濾器、真空蒸發罐、油泵、過濾裝置、冷凝器(即凝汽器)和真空泵等部分。不純凈油在大氣壓力作用下，經初濾器進入真空蒸發罐。油被加熱至100℃以上后噴入真空室，成為細小的油滴。油中的水分快速蒸發為水蒸汽，進入冷凝器冷凝后排出。未冷凝的水蒸汽則由真空泵排至大氣中。匯集在真空蒸發罐底部、已經蒸發脫水的油被油泵送入過濾裝置，濾去油中的固體雜質，進一步吸收掉微量水分。真空濾油機能顯著地提高排除油中水分的效果，適用于高壓電器用油的提純。

　　普通濾油機

　　由初濾器、油泵和過濾裝置組成。初濾器為一筒狀金屬網，阻止不純凈油中較大的固體顆粒進入油泵。油泵通常為齒輪泵，輸送不純凈油進入過濾裝置。過濾裝置為一小型手工壓緊的板框壓濾機，用專用濾紙作過濾介質。不純凈油在油泵壓力作用下進入板框壓濾機，透過濾紙成為濾清油。油中的固體雜質被截留在濾紙表面，少量的水分被濾紙的毛細孔吸收。過濾壓力通常不大于0.3兆帕。當濾紙表面沉積雜質太多，過濾壓力升高到0.35兆帕時，或當濾紙吸收的水分接近飽和，濾清油中殘留的水分不再降低時，應停機更換濾紙。油的粘度較高時，可預熱以降低粘度后再行過濾。這種濾油機只能除去固體雜質和少量水分，適用于一般電器用油和潤滑油的提純。當油中含水分和雜質過多時，須經預處理后再送入濾油機。普通濾油機的處理量為25～200升/分。過濾裝置的方形濾框有200毫米、250毫米、320毫米、450毫米、630毫米等。濾板和濾框用鑄鐵或聚丙烯制成。

　　新出現的分子凈油機還采用了靜電分離和樹脂吸附技術，可除去變質的油分子，使絕緣油高度凈化，提高絕緣性能。